助力科技創新，擴大工藝平臺能力開放

2023-07-10

       上海工研院所擁有的8英寸 “超越摩爾”研發中試線，技術能力覆蓋了MEMS和硅基光電兩大板塊，可進行各種MEMS和硅基光電芯片的研發、中試和小批量生產。8吋線近5000平方米的潔凈室，可以全面開展表面硅、體硅、3D微納加工技術以及新工藝、新器件、新系統的研發和量產；具有MEMS、硅光、壓電、生物芯片等“超越摩爾”核心工藝技術，為集成電路設計、設備和材料等半導體公司提供高效的研發、中試和驗證服務，實現從研發到小批量生產無縫對接。

        作為超越摩爾半導體領域的公共研發服務平臺，上海工研院旨在為集成電路創新企業及合作伙伴提供深度工藝技術支持和服務，幫助創新企業降低研發投入成本和風險，加快智能傳感器、硅光等芯片產品的迭代，縮短產品研發周期、提升企業科研能力。

       半導體領域的科技創新是國內科技產業發展的重中之重，上海工研院為了進一步加強和補充超越摩爾半導體產業中緊缺的工藝加工能力，加速國內科研進展，助力科技創新發展，計劃將部分半導體機臺及工藝能力釋放給產業鏈公司及科研機構，服務范圍包括MEMS、硅基光電領域的國內緊缺工藝能力、半導體分析及測試服務等。

具體信息如下：

以上內容原文轉載自上海微技術工研院微信公眾號。

附：

       上海微技術工業研究院（SITRI）成立于2013年，由新微科技集團聯合多家單位共同發起成立，是集研發、工程、培育于一體的研發與轉化功能型平臺，為創新企業及合作伙伴提供服務和支持。目前，上海工研院已與國內外眾多的產、學、研組織建立了緊密的合作關系，實現創新成果的高效率產業化，加速“超越摩爾”產業生態系統建立。