上海集成電路材料研究院合成實驗室正式啟用

2023-04-25

2月6日上午，上海集成電路材料研究院（“集材院”）在上?；瘜W工業區投資建設的集成電路材料合成實驗室正式啟用，這既是上海電子化學品專區加快打造自主創新平臺的重要組成部分，也是上海國際化工新材料創新中心重點引入的研發試驗機構之一，成為上?；^加速創新驅動、促進產業鏈與創新鏈融合發展的又一重要里程碑。

2020年以來，集材院主動對接國家戰略和上海集成電路等先導產業發展需求，積極參與上海電子化學品專區建設，并以協同創新發展為紐帶，助力自主創新，取得顯著成效。

面向集成電路材料企業在性能測試與研發驗證等方面的共性訴求，集材院于2022年1月在電子化學品專區注冊成立全資子公司上海集材微電子材料技術有限公司，落戶上海國際化工新材料創新中心。注冊資本3000萬元，一期項目建設總投入1.5億元，總建筑面積近2100㎡。

該平臺建成合成實驗室、放大實驗室、純化及罐裝實驗室、分析實驗室等專業實驗室，可開發化學合成技術、合成結構精準可控的集成電路材料，探索放大工藝、制備公斤級集成電路材料，并開發原料純化技術、制備ppb、ppt級金雜含量的集成電路材料。分析實驗室可提供全面、系統性的集成電路材料測試表征分析，并將逐步建立起集成電路材料分析測試及操作規范的行業標準。同時，分析實驗室服務能力向專區內企業共享開放。

附：

上海集成電路材料研究院由新微科技集團和上海硅產業集團發起成立，聚焦集成電路襯底材料、工藝材料和前沿技術的研發與產業化。