上海工研院MEMS成品級測試能力簡介

2023-06-20

測試服務

 

MEMS成品級測試

上海工研院測試平臺提供MEMS、功率器件以及IC產品測試服務，內容覆蓋測試方案制定、測試程序開發、量產測試和器件/晶圓級測試。工研院的資深技術專家可在產品設計和制造等環節提供專業建議，加快產品性能優化，縮短產品上市時間。

 

01 測試服務分類

MEMS晶圓級測試

•動靜態參數測試 

•可測如下傳感器 

-加速度計 

-陀螺儀 

-麥克風 

-壓力傳感器 

-溫度傳感器

 

MEMS成品級測試

•動靜態參數測試 

•可測如下傳感器 

-加速度計 

-陀螺儀 

-磁傳感器 

-壓力傳感器 

-溫度傳感器

 

模擬及混合IC

•LED驅動 

•電源管理IC 

•模擬開關 

•運算放大器 

•鋰電池保護 

•數模/模數轉換

 

功率器件測試

•動靜態參數測試 

•功率循環及熱阻測試 

•可測如下類型 

-MOSFET 

-二極管 

-單管IGBT 

-IGBT模塊

 

02 MEMS成品級測試

對外提供服務的11軸MEMS成品測試系統，專用于MEMS傳感器+ASIC電路封裝后的測試，該系統集合了3軸旋轉，3軸翻轉及3軸電磁激勵、溫度控制等功能，也可轉換為壓力腔模式?？蓪Τ善芳壨勇輧x、加速度計、磁傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器等進行封裝后測試。

結合ATE測試設備可提供測量MEMS器件的關鍵參數，零位輸出、噪音、靈敏度、跨軸靈敏度、線性度、溫漂等。并可對產品的誤差值進行調校，滿足產品供貨需求。

 

03 MEMS成品測試系統優點

 

√ 全自動上下料 

√ 多達144個工位并行測試 

√ 集陀螺、加速計、磁力計9DOF測試于一體 

√ 可支持從1mmà5mm大小的封裝尺寸 

√ 提供三溫測試環境 

√ 快速壓力生成設定 

√ <1/10000器件卡料率

 

04 成品級測試設備參數簡介

1 InGyro

慣性傳感器標定測試

 

2 InBaro

壓力傳感器標定測試

 

05 聯系方式

如需咨詢，歡迎聯系

Myla Gao，18019007295

Myla.Gao@sitrigroup.com

以上內容原文轉載自上海微技術工研院微信公眾號。

 

附：

上海微技術工業研究院（SITRI）成立于2013年，由新微科技集團聯合多家單位共同發起成立，是集研發、工程、培育于一體的研發與轉化功能型平臺，為創新企業及合作伙伴提供服務和支持。目前，上海工研院已與國內外眾多的產、學、研組織建立了緊密的合作關系，實現創新成果的高效率產業化，加速“超越摩爾”產業生態系統建立。